江苏氢氟酸的溶液处理碳化硅表面新方法

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　　经氢氟酸作用氮化硅表面后，可将氮化硅表面的非极性基团刻蚀掉，例如将氧化的含氮基团脱氧变成极性基团，同时暴露出更多的Si-N键，这种Si-N键是一种极性较高的键。这些含氮的基团(-NH2，-NH)和有较高极性的Si-N键都呈现亲水性，减小了薄膜与溶液的接触角，增加了氮化硅表面的亲水性。采用本发明方法可以简单地增加表面的亲水性，从而在后续氮化硅表面获得全面积的均匀喷涂或者旋涂薄膜。
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